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ayx体育全站:至纯科技:高温硫酸SPM设备是国产首台应用于大规模量产线英寸硫酸清洗机

来源:ayx体育全站    发布时间:2025-12-09 21:13:52

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至纯科技:高温硫酸SPM设备是国产首台应用于大规模量产线英寸硫酸清洗机

  同花顺300033)金融研究中心12月09日讯,有投资者向至纯科技603690)发问, 您好!公司哪些产品能完成国产代替,或者说打破外国独占,特别是日本的半导体设备?谢谢!

  公司答复表明,您好,公司半导体湿法设备在先进制程节点,尤其在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被世界厂商独占的机台,公司交给和验证进展都在国内抢先,其间高温硫酸和高温磷酸主要被日本厂商简直独占。高温硫酸SPM设备是国产首台应用于大规模量产线英寸硫酸清洗机,现在单机累计产值超越90万片次,是高阶湿法设备国产代替进口的重要里程碑。单片高温磷酸验证作业也在稳步推动中。

  体系集成及支撑设备方面,公司已成功完成了多项高纯工艺体系中心设备及相关操控体系软件的研制,使用克己设备与软件代替外购。公司在高纯工艺体系范畴已构成从研制、规划、制作到完好供应链的较强竞赛优势。2016-2024年中国大陆干流12寸晶圆厂41次特气中标成果中,公司市占率达48.8%,化学品设备及体系的市占率超越30%。